سیلان

صنعت، تحقیق و توسعه، SEMI

منبع:

سیلان از احیای سیلیکون تتراکلوراید توسط هیدرایدهای فلزی مانند لیتیوم یا کلسیوم آلومینیوم هیدراید تولید می‌شود.

کاربردها:

• سیلان در تولید شیشه‌های خاص که به پوشش ضد انعکاس مجهز می‌شوند مورد استفاده قرار می‌گیرد.
• سیلان یکی از مواد اساسی در پایه صنعت سیلیکونی نیمه هادی می‌باشد و بعنوان منبع سیلیکون در رشد پروکریستالین و سیلیکون برون محوری (تک کریستالین)، دی اکسید سیلیکون، سیلیکون نیترید و دوپینگ گالیوم آرسنید استفاده می‌شود.
• همچنین از سیلان بعنوان تسریع کننده درتولید دستگاه‌های ترکیبی نیمه‌هادی استفاده می‌‎شود که برای رسوب شیمیایی بخار سیلیسیدهای فلزی کارخانه‌ها و برای رسوب سیلیکون آمورف روی درام دستگاه فتوکپی بکار می‌رود.
• سیلان همچنین درتولید سلول‌های فتوولتائیک بکار می‌رود.
• از سیلان در فرایند تولید فیبرهای نوری نیز استفاده می‌شود.